日本UNION非接觸式(shi)測量工具顯微鏡
HISOMET系列工(gong)具顯微鏡為一專業X、Y、Z軸座標測量(liang)顯微鏡，X、Y工(gong)作臺行(xing)程由50×50mm到大行(xing)程500×500mm，放(fang)大倍數(shu)由5×至1000×。為求(qiu)提高(gao)(gao)工(gong)件在Z軸深度(du)/高(gao)(gao)度(du)測量(liang)時的(de)精度(du)，Z軸對焦采用一磚(zhuan)利光學“裂(lie)像(xiang)指示器(qi)”，結合精密的(de)Z軸“Cross Roller Bearing”導(dao)軌(gui)，可測范圍25 mm，精度(du)高(gao)(gao)達(da)1μm，配(pei)合特殊(shu)附件，測量(liang)分解度(du)更可達(da)0.5μm或0.1μm。
非接觸式(shi)測(ce)量顯微鏡
對焦(jiao)清楚后如下圖：
應用實例：
技術(shu)規(gui)格：
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型 號
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DH II
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工作臺行程mm
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50×50
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100×100
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100×200
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150×150
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150×300
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300×300
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500×500
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Z軸測量范圍
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25mm
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25mm
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25mm
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25mm
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25mm
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25mm
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25mm
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X、Y、Z軸數顯分解度
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0.001mm
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Z軸讀數裝置
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內置數顯表／外置數據處理系統
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反射照明系統
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內置LED／外置冷光源
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標準目鏡
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NWF10X
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標準物鏡（W.D.12mm）
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PLM10X
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讀數系統
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簡易座標讀數器
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多功能數據處理器
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測量軟件電腦系統
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選購物鏡
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PLM3X(W.D.8.5mm), PLM5X(W.D.19mm),
PLLWDM20X (W.D.11.2mm), PLLWDM40X(W.D.10mm),
SPLM50X (W.D.1.5mm), PLLWDM100X (W.D.5.0mm),
SPLM100X(W.D.1.0mm)
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